微細加工技術雜志簡介
《微細加工技術》雜志創刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。
微細加工技術雜志欄目設置
本刊綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術。
微細加工技術雜志榮譽信息
微細加工技術雜志訂閱方式
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（五）標題層次一級標題用“一、二、……”來標識，二級標題用“（一）、（二）、……”來標識，三級標題用“1.2.”來標識，四級標題用“（1）、（2）”來標識。一般不宜超過4層。標題行和每段正文首行均空二格。各級標題末尾均不加標點。
（六）計量單位、數字、符號文稿必須使用法定的計量單位符號。
（七）參考文獻
限為作者親自閱讀、公開發表過的文獻，只選主要的列入，采用順序編碼制著錄，按其文中出現的先后順序用阿拉伯數字編號，列于文末，并依次將各編號外加方括號置于文中引用處的右上角。書寫格式為：作者.文題.刊名年份；年（期）：起始頁.網上參考材料序號.作者.文題網址（至子－－欄目）.上傳年月。
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微細加工技術雜志范例
0.1微米電子束曝光機成像系統的計算
激光直寫系統制作掩模和器件的工藝
LIGA技術制作Fresnel波帶片的研究
金屬型場發射陣列的研究
一種微摩擦力光學測試方法
SU-8環氧樹脂的分離實驗研究
利用等離子體表面預處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性
多層薄膜微結構熱應力計算
脈沖電鍍制備硅基細晶鎳鐵合金薄膜
PECVD法制備的ZnO薄膜結晶性能的影響
采用氨化技術制備成簇生長的光滑線狀氮化鎵
痕量爆炸物爆燃探測敏感元件的結構設計
新型壓電微噴的研制
硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究
MEMS微電磁驅動器磨損對光開關性能的影響分析
微細加工技術雜志發文分析
主要資助課題分析
| 資助課題 | 涉及文獻 |
| 國家自然科學基金(90307003) | 13 |
| 山東省自然科學基金(Y2003G03) | 12 |
| 國家重點基礎研究發展計劃(2003CB716204) | 7 |
| 國家自然科學基金(59671051) | 7 |
| 山東省科技攻關計劃(022090105) | 7 |
| 國家高技術研究發展計劃(2004AA404260) | 5 |
| 國家高技術研究發展計劃(2003AA404150) | 4 |
| 國家自然科學基金(10572078) | 4 |
| 國家自然科學基金(50275140) | 4 |
| 國家高技術研究發展計劃(2003AA404140) | 3 |
主要資助項目分析
| 資助項目 | 涉及文獻 |
| 國家自然科學基金 | 256 |
| 國家高技術研究發展計劃 | 65 |
| 國家重點基礎研究發展計劃 | 54 |
| 國家教育部博士點基金 | 17 |
| 國家重點實驗室開放基金 | 15 |
| 山東省自然科學基金 | 13 |
| 中國科學院知識創新工程 | 11 |
| 中國博士后科學基金 | 10 |
| 上海市自然科學基金 | 8 |
| 中國科學院知識創新工程重要方向項目 | 8 |
